中國刻刀
中國首台「電子束光刻機」問世 「羲之」能有機會取代荷蘭EUV？
浙江大學餘杭量子研究院近日宣布，中國首台商業電子束蝕刻工具「羲之」正式投入市場應用。這台精確度可達0.6納米的裝置，被業界視為量子晶片研發的「救星」，標誌著中國在高端半導體設備領域邁出關鍵一步。
2025-08-18 16:23
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