「奈米極紫光」負負得正…秒數的負18次方 半導體再突破

▲清大光電所研發出更快、更亮的奈米極紫外光。（圖／清大提供，下同）

記者盧映慈／台北報導

「人類活在『秒』的世界，但奈米世界的時間是以『埃秒』（10的負18次方秒）」，清大光電工程所助理教授陳明彰成功創造更亮的奈米極紫外光（EUV），在奈米的「微」電影世界，半導體跟生醫領域的研究又有重大突破，「這就像兩人三腳的遊戲，意外的負負得正」，未來的生活又往前一大步。

奈米世界的微小，需要更快、更亮的光源才有辦法看到，但過去10年來一直沒有辦法提升18奈米紫外光的亮度，由於紅外光與極紫外光以不同的相位速度前進，亮度無法累積；「就好像想玩兩人三腳的遊戲，但兩者的步伐大小、速度都不同，不能一起抵達終點，亮度自然無法提升」，陳明彰說，再加上發光設備2、3個操場般大，更難普及應用。

3年前，陳明彰跟碩士生孫宏維與博士生黃旆齊一起實驗，發現只要調整光圈大小，就能控制極紫外光的頻寬和中心波長，同時增加空間解析度，加強供給紅外光後，兩個減少極紫外光的舉動，變成「負負得正」的效果，成為美麗的巧合、突破傳統的極限，讓18奈米的光子數增強了4百倍。

「要亮度變亮，就要號召光子來參加，但人越多，兩人三腳的遊戲越難玩，光圈就像那個喊口號的人，控制大家的腳步，亮度就穩定提升了」；黃旆齊說，這套光源系統的體積已經縮小到2公尺左右，桌上型光源不是夢，國際半導體大廠近年極欲掌握極紫外光技術，在研發、檢測、製程上能有更大的突破，生醫界也可以此看到更微小的疾病細胞。