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EUV光源樣機

美荷聯手封半導體設備 中國科學院院長長春調研「EUV光源樣機」

中國科學院院長、中國科學院前黨組書記白春禮4月13日前往「長春光機所」進行調研。在金宏書記的陪同下,白春禮先後參觀了「高通量基因測序儀」、「EUV光源」、「02專項」等科技創新成果及研究進展,並就相關技術問題與科技人員進行了深入交流。

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