大陸中國科學院上海微系統所陶虎團隊與上海交通大學夏小霞、錢志剛團隊使用用基因重組的蜘蛛絲蛋白作為光刻膠(光阻劑),科學家實現分子級別精度的真三維(3D)奈米功能器件直寫,該技術加工精度可達14nm,較之前技術提升了1個數量級。
2021-09-22 14:40北京清華大學工程物理系教授唐傳祥研究組與國外合作團隊昨(25)日在《自然》(Nature)上發表《穩態微聚束原理的實驗演示》的研究論文,完成一種新型粒子加速器光源「穩態微聚束」(SSMB)的首個原理驗證實驗。唐傳祥認為,基於SSMB的EUV光源,將有望解決自主研發晶片光刻機中最核心的「卡脖子」難題。
2021-02-26 16:55