陸晶片製造設備技術大突破 「離子注入機」全譜系產品國產化

▲▼陸晶片製造設備技術大突破 「離子注入機」全譜系產品國產化。(圖/翻攝新華社)

▲中國電子科技集團子集團取得技術突破。(圖/翻攝新華社)

記者蔡紹堅/綜合報導

中國電子科技集團17日宣布,旗下裝備子集團技術突破,已成功實現離子注入機全譜系產品國產化,工藝段覆蓋至28奈米,為大陸晶片製造產業鏈補上重要一環。

中國電子科技集團表示,該集團旗下裝備子集團攻克系列「卡脖子」技術,已成功實現離子注入機全譜系產品國產化,包括中束流、大束流、高能、特種應用及第三代半導體等離子注入機,工藝段覆蓋至28奈米,為大陸晶片製造產業鏈補上重要一環,為全球芯片製造企業提供離子注入機一站式解決方案。

受到消息刺激,大陸晶片概念股17日盤中發力走高,帝科股份、易天股份、中晶科技、蘇州固礙、首航高科等漲停,派瑞股份漲近12%,景嘉微、兆易創新漲幅超8%。

公開資料顯示,離子注入機是高壓小型加速器中的一種,它是由離子源得到所需要的離子,經過加速得到幾百千電子伏能量的離子束流,廣泛用於摻雜工藝,可以滿足淺結、低溫和精確控制等要求,已成為集成電路(積體電路)製造工藝中必不可少的關鍵裝備。

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