快訊/竹科「晶圓原料」槽車翻覆!恐怖自燃氣體「矽甲烷」外洩

記者陳凱力/新竹報導

新竹科學園區雙園路一段和園區三路交叉口26日上午8時許,發生一起意外事故,事發當時一輛化學槽車上的鋼瓶氣體洩漏,而警消獲報趕往現場後發現,其洩漏物為矽甲烷,目前沒有明顯火勢,已劃警戒區及拉起水線警戒,並通知廠商到場處理。

▲化學槽車鋼瓶洩漏。(圖/記者陳凱力翻攝,下同)

[廣告] 請繼續往下閱讀.

警消於26日上午8時54分接獲通報指稱,上述路段有鋼瓶氣體洩漏,並立即派遣4車8人前往搶救,於9時4分抵達現場後發現,現場毒化物為矽甲烷,經警消搶救後,目前已無洩漏情形,而現場已架設砲塔,但廠商尚未到場處理,警消也已通報毒化災應變隊、火調人員、科管局。

矽甲烷性質概述:矽甲烷簡稱Silane,係由矽及氫合成,為半導體重要的原料,用於生產製成晶圓等,矽甲烷為自燃性氣體與空氣接觸便會自燃,並釋放出未結晶的二氧化矽。矽甲烷和水接觸後會形成矽酸 (silicic acid) 具有腐蝕性的危害。